材料性能
 
特性項目 氧化鋁(Al2O3 氧化鋯(ZrO2 碳化矽(SiC) 氮化矽(Si3N4 氮化鋁(AlN)
顏色   淺黃 白色 白+透明 黑灰
純度 % 96 99.5 99.7 99.99 3Y—TZP
用途   機械部件
電子部件
機械部件
耐熱部件
耐腐蝕部件
半導體裝置部件
耐腐蝕部件、半導體裝置部件、模具 耐磨損部件
耐熱部件
耐磨損部件、耐熱部件、耐腐蝕部件 耐磨損部件、耐熱部件、耐腐蝕部件 導熱部件
半導體裝置部件
密度 Kg/m3×103 3.7 3.9 3.93 3.97 6 3.2 3.25 3.4
吸水率 % 0 0 0 0 0 0 0 0
HV硬度 GPa 3.7 17 18 21 13.2 22 16 10.2
抗彎強度 MPa 350 370 390 390 1200 400 700 310
抗壓強度 MPa 310 2350 2300 200 3500 3800
彈性模量 GPa 320 370 375 380 200 430 290 320
泊鬆比 0.23 0.23 0.25 0.25 0.31 0.16 0.28 0.24
斷裂韌性 Mpa/m 4 4 4 4 7 4 5
熱膨脹係數 ×10-6/℃ 7.2 7.2 7 7 10 3.7 2.6 4.6
熱傳導率 W/(m·K) 24 32 33 34 3 60 20 150
最高工作溫度 500 1200 1600 1600 200
耐熱衝擊 200 250 200 200 200 400 550 600
介電強度 V/m×106 14 15 18 18 11 14
體積電阻率 Ω·cm(20℃)×1014 1 1 10 10 1 1 100
介電常數 9.4 9.9 9.7 9.9 33 8.6
介電損耗係數 ×10-4 38 10 10.06 0.5 520 26
硝酸 Wt Loss mg/cm2/D 0.014 0.07 0.15 0.04 0.1 0.02 0.05
硫酸 Wt Loss mg/cm2/D 0.034 0.25 0.04 0.09 0.5 0.009 0.2
氫氧化鋁 Wt Loss mg/cm2/D 0.095 0.05 0.03 1 0.01 0.3  
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